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四段式放大反馈混沌光发射激光器结构制造技术
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文档序号:12135821
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一种四段式放大反馈混沌光发射激光器结构,包括:一衬底;一n-InP缓冲层制作在衬底上;一InGaAsP下限制层制作在n-InP缓冲层上;一多量子阱增益层制作在InGaAsP下限制层上;一InGaAsP上限制层制作在多量子阱有源层上;一p-I...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。
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