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本发明公开了一种成像对准系统，包括：光源、波长选择单元、偏振调节单元、探测器，以及信号处理与控制单元；光源提供照明光束，所述照明光束依次通过用于选择特定波长的光束的波长选择单元、用于实现照明光束偏振方向的调节的偏振调节单元，再经基片上方的第...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。

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