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本实用新型公开了一种PECVD设备用螺套结构，包括：开设在PECVD设备腔体底部的螺纹槽，以及槽口向下地拧入所述螺纹槽的自攻螺套，所述自攻螺套为不锈钢材质。本实用新型通过采用不锈钢自攻螺套，使其与铝制腔体及螺丝接触面更大且无间隙，承受更大拉...
该专利属于上海鸿辉光通科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海鸿辉光通科技股份有限公司授权不得商用。

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