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本实用新型属于过滤系统技术领域，公开了一种循环过滤系统，包括：用于盛放物料的反应釜和物料出口阀门，在所述反应釜和物料出口阀门之间设有一循环的过滤管路，所述过滤管路用于对物料进行循环过滤。本实用新型的过滤系统使得物料从生产设备反应釜中流出，由...该专利属于北京科华微电子材料有限公司;北京科华丰园微电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京科华微电子材料有限公司;北京科华丰园微电子科技有限公司授权不得商用。