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本实用新型提供了一种流体传感器芯片，该流体传感器芯片包括了包括非晶碳的隔离物衬底、包括石墨的电导体、以及包括石墨烯或碳纳米管的有源材料，该实用新型在化学侵蚀性环境中能够被可靠地使用。...
该专利属于英飞凌科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过英飞凌科技股份有限公司授权不得商用。

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