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本发明提供基板处理装置及方法。基板处理装置具有工序处理腔室、空气排出腔室、装载互锁腔室、及排气单元等。空气排出腔室以比工序处理腔室中的减压速度更慢的速度减压来排出处理对象物内的空气，从而防止基板的扭曲(Warpage)现象。空气排出腔室一次...
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