下载一种蓝宝石晶片高效超精密加工方法的技术资料

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一种蓝宝石晶片高效超精密加工方法,实现该方法包括基于弥散强化原理的铜基磨盘;采用纯紫铜粉、结合剂、弥散强化颗粒,以弥散强化原理制作的铜基磨盘为复合材料磨盘,其弹性模量、磨盘材料表面硬度可调控,加工性能介于纯铜盘和锡盘加工性能之间,达到蓝宝石...
该专利属于浙江工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江工业大学授权不得商用。

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