下载纳米压印用光固化性组合物、及使用其的微细图案基板的制造方法的技术资料

文档序号:12104063

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本发明提供纳米压印用光固化性组合物,其通过薄薄涂布于基板并进行光照射可以迅速固化形成薄膜,固化收缩小,可将模具的微细的图案精度良好地转印。本发明的纳米压印用光固化性组合物包含下述成分(A)及成分(B)。成分(A):下述式(a-1)表示的化合...
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