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本发明公开了一种探针卡清针方法及清针系统，首先获取探针卡上的探针接触电阻的测试参数；接着预设探针卡上的探针接触电阻的标准阈值；最后将所述探针卡上的探针接触电阻的测试参数与所述标准阈值进行对比，若测试参数超出标准阈值，则对探针卡上的探针进行清...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

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