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本发明涉及精细化工的技术领域，具体地说是一种高效硅晶片研磨液。该研磨液所述各材料按以下重量组份：分子量200-10000聚乙二醇40-70份、碳化硼10-15份、氢氧化钠5-10份、EDTA二钠1-3份、甘油1-3份、磷酸脂3-5份、烷基醇...
该专利属于徐迪青所有，仅供学习研究参考，未经过徐迪青授权不得商用。

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