下载抛光轮补偿机构及其补偿方法的技术资料

文档序号:12098779

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本发明公开了一种抛光轮补偿机构及其补偿方法,包括机座、主轴电机、抛光轮、X轴移动装置、Y轴移动装置、力传感器、位移检测系统及主控系统,X轴、Y轴移动装置能够分别驱动主轴电机沿X轴、Y轴移动,抛光轮能够通过X轴或Y轴移动装置移动至与力传感器相...
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