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本实用新型氮化硅薄膜窗口，包括：衬底，在所述衬底上镀有氮化硅膜；所述氮化硅膜的形状和尺寸与所述衬底的形状和尺寸相同；观测沟槽，多个所述观测沟槽设置在所述衬底上，所述观测沟槽贯穿所述衬底；标记沟槽，所述标记沟槽设置在所述衬底上，所述标记沟槽贯...
该专利属于上海纳腾仪器有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海纳腾仪器有限公司授权不得商用。

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