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文档序号:12081957

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本发明提供抑制电气特性的变动的半导体装置。实施方式的半导体装置具备:GaN系半导体层;设置在GaN系半导体层上的源极;设置在GaN系半导体层上的漏极;在源极与漏极之间的、设置在GaN系半导体层上的栅极;以及在栅极与漏极之间与GaN系半导体层...
该专利属于株式会社东芝所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社东芝授权不得商用。

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