下载用于检测硅锭倒角面平整度的承载装置的技术资料

文档序号:12079862

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本实用新型涉及硅锭倒角检测工具技术领域,提供一种用于检测硅锭倒角面平整度的承载装置,包括检测平台、底座和设置于检测平台下方的硅锭放置台;检测平台中间设置有长方形通孔;底座上设置有用于驱动硅锭放置台上下运动的驱动装置;硅锭放置台包括两个相对设...
该专利属于宇骏(潍坊)新能源科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宇骏(潍坊)新能源科技有限公司授权不得商用。

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