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沉积蒸发系统技术方案
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文档序号:12072188
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本发明涉及一种沉积蒸发系统,用于对基片进行倾斜蒸发沉积,包括动力机构、沉积蒸发传动装置和真空蒸发器,所述动力机构与所述沉积蒸发传动装置相连接,用于驱动所述沉积蒸发传动装置转动;所述真空蒸发器位于所述沉积蒸发传动装置的下方;所述真空蒸发器的蒸...
该专利属于杭州士兰集成电路有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杭州士兰集成电路有限公司授权不得商用。
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