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一种磁性靶材装置，包含一个由非磁性金属制成的背板，及一个由磁性金属制成的溅镀靶。该溅镀靶包括一个设置于该背板的基底面、一个相反于该基底面的轰击面，及至少一个由该轰击面贯通至该基底面的导磁通道，该基底面至该轰击面的直线距离能定义一个靶材厚度，...
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