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本发明提供的一种承载装置及等离子体加工设备，包括托盘和绝缘环，在托盘上设有承载被加工工件的承载位，环绕承载位还设有环形凹槽；绝缘环用于限制置承载位上的被加工工件水平移动；在绝缘环的外周壁上设有至少一对凸部；环形凹槽包括第一槽段和第二槽段，二...该专利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司授权不得商用。