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膜形成方法及膜形成装置制造方法及图纸
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文档序号:12069428
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本发明提供一种膜形成方法及膜形成装置,该膜形成方法中,即使增加膜厚,侧面的倾斜也不易变平缓。沿着基板的表面的应涂布膜材料的被涂布区域的边缘,使膜材料液滴化后进行涂布并使该膜材料固化,从而形成外缘部,之后,通过在比外缘部更靠内侧的区域,使膜材...
该专利属于住友重机械工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过住友重机械工业株式会社授权不得商用。
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