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图像传感器及制备方法、减少电学互扰的方法技术
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文档序号:12061877
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本发明提供了图像传感器及制备方法、减少电学互扰的方法,在具有光电二极管和像素单元电路的像素单元结构中,向半导体衬底中且对应于浅沟槽隔离结构下方的区域进行离子注入,以形成离子注入区,这些注入的离子经退火后形成多个空隙,这些空隙成为电子迁移的势...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。
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