下载静电容量型转换器的技术资料

文档序号:12059079

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一种静电容量型转换器,可提高隔膜的耐粘附性和耐破损性。本发明的静电容量型转换器在具有空洞(35)的基板(32)上配设有隔膜(33)。从隔膜(33)的外周延伸的脚片(36)通过锚固件(38)固定在基板(32)上。隔膜(33)的上方通过保持固定...
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