【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及静电容量型转换器。更具体地，涉及静电量型声响传感器。
技术介绍
作为静电容量型转换器的一种，例如具有用于麦克风的声响传感器。声响传感器为隔膜(振动电极板)和固定电极板隔开微小间隙(空隙)而相对的构造。由于该隔膜由膜厚I ym左右的薄膜形成，因此一受到声压，就会感应到其振动而进行微小振动。而且，当振动电极板进行振动时，振动电极板与相对电极板的间隙距离发生变化，故而通过检测此时的振动电极板与相对电极板之间的静电容量的变化来检测声响振动。在这种构造的声响传感器中，如图1(A)所示，在隔膜11大幅挠曲而与固定电极板12接触时，隔膜11会固着在固定电极板12上而不能返回(将这种现象称为粘附)。作为隔膜大幅挠曲而发生粘附的情况，例如具有对隔膜施加有大声响的情况、对在落下耐久试验中落下的声响传感器的隔膜施加较大的压缩空气压(风压)的情况、向声响传感器强烈地吹气的情况。另外，在声响传感器的制造工序中，有时也产生粘附。这样，当隔膜粘附于固定电极板时，阻碍隔膜的振动，故而不能通过声响传感器来检测声响振动。因此，需要防止这种粘附，作为其对策，在专利文献I公开的声...
【技术保护点】
一种静电容量型转换器，其特征在于，至少具备：背板，其具有固定电极；作为可动电极的隔膜，其经由空隙与所述背板相对；第一止动件，其从所述背板的所述空隙侧的面和所述隔膜的所述空隙侧的面中的至少一面突出，具有第一突出长度；第二止动件，其从所述背板的所述空隙侧的面和所述隔膜的所述空隙侧的面中的至少一面突出，具有第二突出长度，所述第一止动件设置在与所述隔膜上的第一位置对应的位置，所述第二止动件设置在与所述隔膜上的第二位置对应的位置，所述第一位置的隔膜的位移量比所述第二位置的隔膜的位移量大，所述第一止动件的突出长度比所述第二止动件的突出长度短。
【技术特征摘要】
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