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本发明涉及光学仪器领域，提供了三种波前相位校正装置。针对现有技术中连续表面变形镜阵列密度受限、波前校正效果有限且制造工艺要求高、制造成本高的问题，本发明将一个完整的多致动器致动的连续表面变形镜分割成多个由单致动器或小数目致动器组致动的连续表...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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