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一种单个管芯背面金属化的方法,将微晶玻璃基片划成微晶玻璃隔条,并粘接在作为衬底的薄膜微晶玻璃基片上,所述相邻两个微晶玻璃隔条形成管芯放置槽;把单个管芯背面朝上摆放到所述管芯放置模具的管芯放置槽内,并送入到磁控溅射台的溅射腔室内,通入氩气作为...该专利属于锦州七七七微电子有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过锦州七七七微电子有限责任公司授权不得商用。
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一种单个管芯背面金属化的方法,将微晶玻璃基片划成微晶玻璃隔条,并粘接在作为衬底的薄膜微晶玻璃基片上,所述相邻两个微晶玻璃隔条形成管芯放置槽;把单个管芯背面朝上摆放到所述管芯放置模具的管芯放置槽内,并送入到磁控溅射台的溅射腔室内,通入氩气作为...