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本实用新型提出了一种多晶硅还原炉的绝缘盘，包括盘体，其中部设有一贯穿盘体上、下表面的圆形的通孔，该盘体为氮化硅盘体，所述盘体的上表面上设有第一凹槽及第二凹槽，所述第一凹槽为由盘体的上表面向下凹进形成的圆环形槽，所述第二凹槽为由该第一凹槽的底...
该专利属于新德隆特种陶瓷（大连）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过新德隆特种陶瓷（大连）有限公司授权不得商用。

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