下载一种显影装置及显影方法、曝光装置的技术资料

文档序号:12034368

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种显影装置,包括箱体和显影液,所述显影液盛放在所述箱体内,其特征在于,所述箱体包括内壁,所述内壁上设置有缓冲膜,所述缓冲膜能够调节所述显影液的浓度。该缓冲膜解决显影系统中光刻胶浓度不稳定对显影液显影能力的影响;并且能够减少显影...
该专利属于上海天马有机发光显示技术有限公司;天马微电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海天马有机发光显示技术有限公司;天马微电子股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。