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本发明提供了一种探针针痕位置的检测系统和方法，根据标准针痕图像，获得标准针痕范围，并以此建立最大范围坐标，从而使得检测到的针痕位置数据有了参造基准；根据检测到的实际针痕图像，得到实际针痕位置数据，判断实际针痕位置数据是否在最大范围坐标所形成...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

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