下载一种台面晶闸管及其制备方法的技术资料

文档序号:12030728

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本发明公开了一种台面晶闸管及其制备方法,台面晶闸管包括芯片、台面槽、基区以及表面氧化层,所述基区形成在芯片上,在基区上形成有阳极、阴极和门极,所述表面氧化层上形成有引线孔,所述引线孔分别对准所述的阴极和门极并填充有铝电极,台面槽的槽深低于基...
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