下载直线形状测定方法及直线形状测定装置的技术资料

文档序号:12028045

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本发明提供一种能够测定被测定物表面的直线形状且再现性良好的直线形状测定方法。该直线形状测定方法中,使沿第1方向等间隔排列的3个传感器与被测定物的表面对置,并且使传感器相对于被测定物沿第1方向相对移动的同时以1mm以下的采样间距收集被测定物表...
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