【技术实现步骤摘要】
【专利说明】 本申请主张基于2014年3月5日申请的日本专利申请第2014-042251号的优先 权。该日本申请的全部内容通过参考援用于本说明书中。
本专利技术涉及一种测定被测定物表面的直线形状的方法及测定装置。
技术介绍
已知有利用逐次三点法来测定被测定物表面的直线度的技术（专利文献1)。逐次 三点法中，通过等间距配置的3个传感器同时测定3个点的高度，并根据测定结果求出平面 的局部弯曲程度（曲率）。并且以传感器之间的间距对所求出的曲率进行二阶数值积分，从 而求出平面的直线形状。 专利文献2中公开有在逐次三点法中使用的3个传感器上追加第4个传感器来求 出直线度的方法。3个传感器等间距配置，第4个传感器配置在3个传感器中的最端部的传 感器的内侧，并且与该最端部的传感器隔着更小的间距SP。专利文献2公开的方法中，使 包括4个传感器在内的传感器单元每次移动间距SP的同时测定被测定物表面的高度。 专利文献1 :日本特开2003-232625号公报 专利文献2 :日本特开2007-333556号公报 已经证实了以往的逐次三点法等中非镜面的具有表面粗糙度的加工面的测定...
【技术保护点】
一种直线形状测定方法，其具有：使沿第1方向等间隔排列的3个传感器与被测定物的表面对置，并且使该传感器相对于所述被测定物沿所述第1方向相对移动的同时以1mm以下的采样间距收集所述被测定物表面的高度数据的工序；根据所述高度数据，求出沿所述第1方向以所述采样间距分布于所述被测定物表面上的采样点的曲率的工序；及根据所述曲率，求出所述被测定物表面的直线形状的工序。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：市原浩一，
申请(专利权)人：住友重机械工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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