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一种沟槽肖特基二极管终端结构及其制备方法技术
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文档序号:12025233
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本发明公开了一种沟槽肖特基二极管终端结构,包括一N型硅基片,且所述N型硅基片的一侧还设有一N型硅外延层,且所述N型硅外延层内设有若干第一沟槽,且所述第一沟槽的一侧设有一终端环结构,本发明还公开了沟槽肖特基二极管终端结构的制备方法。本发明由于...
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