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本发明提供一种通式(1a)、(2)、(3)等所示的钌络合物及该钌络合物的制造方法，其无论在使用氧化性气体作为反应气体的条件下还是在使用还原性气体作为反应气体的条件下均可用于制作含钌薄膜。(式中，R1a～R7a、R8～R9、R10～R18表示...该专利属于东曹株式会社;公益财团法人相模中央化学研究所所有，仅供学习研究参考，未经过东曹株式会社;公益财团法人相模中央化学研究所授权不得商用。