下载一种连接脉冲激光器与终端实验腔体的双光路装置的技术资料

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本实用新型公开了一种连接脉冲激光器与终端实验腔体的双光路装置,该装置(12)连接了脉冲激光器(11)、薄膜沉积系统(13)以及真空手套箱(14)。脉冲激光器(11)型号是PRO-320 Nd:YAG,双光路装置(12)一共由七面介质膜反射镜...
该专利属于中国科学技术大学所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学技术大学授权不得商用。

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