【技术实现步骤摘要】
本技术属于半导体科学
，具体涉及一种可以有效连接一台脉冲激光 器与多种终端实验腔体（例如薄膜沉积系统、真空手套箱）的双光路装置。
技术介绍
激光器可以在连续或者脉冲两种模式下工作，当光脉冲的速率小于激光器的空腔 寿命时，称为脉冲激光器。该激光器产生的激光具有高功率、高稳定性、低发射度等优点，并 且会在瞬间释放巨大能量，使得金属材料局部蒸发。在半导体行业中，常使用脉冲激光器生 长薄膜材料，首先利用激光高功率的特点使得金属材料溅射成等离子体状态，然后这些等 离子羽辉沉积到基片上进而形成半导体等薄膜材料；在光谱学测量方面，使用脉冲激光器 将待测试材料激发到不稳定状态，进而可以测量材料的特征吸收或者发射谱线。通常情况 下都是一台激光器配备一套终端设备，但有些激光器具有两个或者多个出光口，激光器的 使用效率并不高。 我们的脉冲激光器具有三个出光口，其中有两个出口可以同时发出两种不同波长 的激光。基于这种情况，我们设计了一套相互独立的双光路装置，用于连接一台激光器与多 种不同的实验终端。在整个光路中主要采用介质膜反射镜来搭建光路，不同波长的激光以 及不同的...
【技术保护点】
一种连接脉冲激光器与终端实验腔体的双光路装置，其特征在于：该双光路装置(12)有效连接脉冲激光器(11)、薄膜沉积系统(13)以及真空手套箱(14)，其中：脉冲激光器(11)的型号是PRO‑320Nd:YAG，该激光器由Nd:YAG晶体产生1064纳米波长的特征激光，经过倍频可以产生波长为532纳米的激光，两种不同波长的激光分别有不同的出口，薄膜沉积系统(13)用于沉积等离子体羽辉，进而形成半导体薄膜材料，双光路装置(12)一共由七面介质膜反射镜、一面聚焦镜以及相应镜架、反应炉(36)和光路防护设备组成，两条光路分别对应波长为1064纳米、532纳米的激光，其中波长为106...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：孔帅，吴喜波，穆克军，吴鹏，孙喆，张国斌，
申请(专利权)人：中国科学技术大学，
类型：新型
国别省市：安徽;34
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