下载利用光纤激光器的激光尖峰退火的技术资料

文档序号:11992642

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本发明涉及一种利用光纤激光器的激光尖峰退火。通过对晶片表面执行激光尖峰退火的该方法包括:利用多个光纤激光器系统来产生相应的连续波输出辐射束以形成具有长轴和沿长轴的长度LA的长型退火图像,其中连续波输出辐射束在晶片表面部分地重叠;加热晶片表面...
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