下载一种HVPMOS器件及其制造方法的技术资料

文档序号:11985715

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本发明提供的HVPMOS器件及其制造方法,所述HVPMOS器件包括:P型衬底,设置在底部;缓冲层,设置在所述P型衬底上方;N型阱区,设置在所述缓冲层上方;侧面隔离区,设置在所述N型阱区外侧;栅极,设置在所述N型阱区之上;源区,设置在所述栅极...
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