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用于非贵金属接合搭接垫的薄NiB或CoB封盖层制造技术
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下载用于非贵金属接合搭接垫的薄NiB或CoB封盖层的技术资料
文档序号:11982145
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本发明涉及一种基板,该基板具有至少一个主表面,所述主表面包括被封盖层覆盖的至少一个非贵金属接合搭接垫,从而将非贵金属接合搭接垫从环境掩蔽开来。该封盖层包括合金,合金是NiB或CoB并且含有原子浓度百分率为10-50%的硼。...
该专利属于IMEC非营利协会所有,仅供学习研究参考,未经过IMEC非营利协会授权不得商用。
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