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半导体设备中加热盘组件质检及调试工装，以简化对加热盘质量检验与装机调试工作为目的，实现了加热盘质量检验、装机调试使用同种工装。该工装采用整块材料去除材料的方式，使圆形厚板材料的下端形成环形凸台，在圆形厚板的圆柱面侧壁上，进行若干矩形镂空，使...
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