下载一种功率器件结终端结构的技术资料

文档序号:11975904

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及功率半导体技术领域,特别涉及一种能够提高抗总剂量辐照能力的结终端结构。本发明主要在场限环上方两侧设置不同厚度的场氧化层,并且环上方两侧均存在多晶硅场板,由于多晶硅场板下方的场氧化层厚度存在差异,因而两侧多晶硅场板在纵向上存在高度差...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。