下载场效应管的制造方法和场效应管的技术资料

文档序号:11973198

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本发明提供一种场效应管的制造方法和场效应管,其中,制造方法包括:在形成有外延层的硅片表面形成栅氧化层;在栅氧化层的表面形成多晶硅区,多晶硅区包括间隔设置的第一多晶硅段和第二多晶硅段,第二多晶硅段与体区对应设置,第一多晶硅段与体区之外的外延层...
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