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半导体器件制造技术
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文档序号:11956073
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一种半导体器件包括:正常焊盘;以及第一监测单元,适于在探针测试期间基于所述正常焊盘的固有电阻分量来监测在所述正常焊盘中是否形成有坑体。...
该专利属于爱思开海力士有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过爱思开海力士有限公司授权不得商用。
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