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一种在扫描透射类型的带电粒子显微镜中检查样本的方法，包括如下步骤：-提供带电粒子射束，所述射束通过发光器从源被引导以便照射样本；-提供检测器，用于检测带电粒子穿过样本的通量；-使得所述射束横跨样本表面进行扫描，并且记录作为扫描位置的函数的检...
该专利属于FEI公司所有，仅供学习研究参考，未经过FEI公司授权不得商用。

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