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本发明针对现有技术存在的蓝宝石衬底生产成本高、衬底不能重复利用的问题，提供一种回收蓝宝石衬底的方法，该方法在使用物理性高温烘烤的同时，配合湿法腐蚀，用特殊的腐蚀液不仅可以清除氮化镓颗粒和一般残留物，对难熔金属残留物和表面油污的去除效果也很显...
该专利属于山东浪潮华光光电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山东浪潮华光光电子股份有限公司授权不得商用。

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