下载TFT显示器件及其制作方法的技术资料

文档序号:11940031

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本发明公开了一种TFT显示器件及其制作方法,TFT显示器件包括:第一金属层,在第一金属层上沉积第一氮化硅薄膜;第二金属层,沉积在第一氮化硅薄膜上,经过刻蚀形成图案,第二金属层上沉积有第二氮化硅薄膜;过孔,在第二金属层与第一金属层重叠区域,第...
该专利属于深圳市华星光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市华星光电技术有限公司授权不得商用。

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