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本发明涉及氮化法生产高纯β相氮化硅的制备方法，由硅粉在充有氮气的氮气炉中高温氮化而成。本发明在低压条件下反应，相对其他方法安全性更好；对原料气体都进行预处理保证产品纯度；添加氯化铵试剂；本发明采用智能控温系统，操作简便，反应稳定，产品质量稳...
该专利属于青岛桥海陶瓷新材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过青岛桥海陶瓷新材料科技有限公司授权不得商用。

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