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本实用新型属于镀膜技术领域，具体涉及一种镀膜设备。本实用新型提供的镀膜设备包括镀膜腔体和溅射装置，所述溅射装置可对放置在所述镀膜腔体外的待镀膜载体喷射溅射清洗粒子。本实用新型提供的镀膜设备解决了由于在镀膜腔体内部进行溅射清洗而导致镀膜腔体内...该专利属于合肥京东方显示光源有限公司;京东方科技集团股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥京东方显示光源有限公司;京东方科技集团股份有限公司授权不得商用。