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一种高提取外量子效率的LED芯片制造方法技术
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文档序号:11906207
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本发明提供一种高提取外量子效率的LED芯片制造方法,包括以下步骤:步骤(1):在图形化衬底上一次生长GaN层、N-GaN层、量子阱层、P-GaN层、沉积ITO层;步骤(2):在P-GaN或ITO表面悬图一层光阻液;步骤(3):对光阻液进行图...
该专利属于合肥彩虹蓝光科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过合肥彩虹蓝光科技有限公司授权不得商用。
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