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一种曝光装置包括：基板输送单元，被配置为沿第一方向输送基板，并且包括第一测量部件；以及曝光部件，被布置在基板输送单元上方，并且被配置为以紫外线照射基板。第一测量部件被配置为在基板被照射之前测量紫外线的强度。...
该专利属于三星显示有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过三星显示有限公司授权不得商用。

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