曝光装置和使用该曝光装置的曝光方法制造方法及图纸

技术编号:11903643 阅读:144 留言:0更新日期:2015-08-19 16:16
一种曝光装置包括:基板输送单元,被配置为沿第一方向输送基板,并且包括第一测量部件;以及曝光部件,被布置在基板输送单元上方,并且被配置为以紫外线照射基板。第一测量部件被配置为在基板被照射之前测量紫外线的强度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术构思的示范性实施例涉及。更具体地,本专利技术构思的示范性实施例涉及用于形成液晶显示装置的光定向层的曝光装置。
技术介绍
近来,已经制造重量轻尺寸小的显示装置。阴极射线管(CRT)显示装置由于高性能和有竞争力的价格而被一般使用。然而,CRT显示装置很大且欠缺便携性。因而,诸如等离子显示装置、液晶显示装置、和有机发光显示装置的显示装置由于其小尺寸、轻重量、和低功耗而受到高度重视。显示装置一般包括:具有电路布线的阵列基板;面向阵列基板的对向基板;以及布置在阵列基板与对向基板之间的液晶层。显示装置一般还包括给液晶层的液晶分子一预倾斜角度的定向层。
技术实现思路
可以使用曝光装置通过光定向工艺形成定向层。然而,问题在于,由曝光装置形成的紫外线不够均匀。本专利技术构思的示范性实施例提供能够均匀地向多个基板曝光的曝光装置。本专利技术构思的示范性实施例还提供使用该曝光装置的曝光方法。本专利技术的额外特征将在随后的描述中阐明,并将从该描述中部分地变得明显,或者可以通过实践本专利技术而习得。根据本专利技术构思的示范性实施例,一种曝光装置包括:基板输送单元,用于沿第一方向输送基板,并且本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种曝光装置,包括:基板输送单元,被配置为沿第一方向输送基板,并且包括第一测量部件;以及曝光部件,被布置在该基板输送单元上方,并且被配置为以紫外线照射所述基板,其中,第一测量部件被配置为在所述基板被照射之前测量紫外线的强度。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:许财源李泓燃全栢均
申请(专利权)人:三星显示有限公司
类型:发明
国别省市:韩国;KR

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