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用于处理衬底载体内的衬底的夹紧机构制造技术
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文档序号:11902145
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本发明提供了一种用于在超声安装过程期间将衬底固定在衬底载体内的方法和夹紧装置。该夹紧装置可包括具有顶板和底板的衬底载体,该顶板和该底板形成腔,所述腔的尺寸被设计为保持衬底。将夹紧板定位在与底板相对的顶板的一侧上,该夹紧板具有一对夹紧构件和与...
该专利属于苹果公司所有,仅供学习研究参考,未经过苹果公司授权不得商用。
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