温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

在以载台(WST1)上表面的中心为原点的第1、第2、第3及第4象限的角落部分各设置3个二维感测头(60i、60ia、60ib(i＝1～4))。一边利用4个感测头(60i(i＝1、2、3、4))中的与设在载台(WST1)上方的刻度尺板(21)...
该专利属于株式会社尼康所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社尼康授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。